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针对半导体制造中的TEM检测,本文就仪器的操作及仪器放大倍率的标定这两个方面讨论了如何提高TEM测量结果的精度问题.
提高TEM测量结果的精度
【摘 要】
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针对半导体制造中的TEM检测,本文就仪器的操作及仪器放大倍率的标定这两个方面讨论了如何提高TEM测量结果的精度问题.
【机 构】
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国家微分析中心,复旦大学材料科学系(上海)
【出 处】
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上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会
【发表日期】
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2004年12期
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