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本文主要介绍了利用ECR-微波等离子溅射沉积技术不同偏压下在45＃钢基体上制备了Zr-N薄膜,并讨论了偏压对薄膜的微观结构和耐蚀性能的影响原因.
偏压对等离子增强沉积Zr-N薄膜结构及电化学性能的影响
【摘 要】
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本文主要介绍了利用ECR-微波等离子溅射沉积技术不同偏压下在45＃钢基体上制备了Zr-N薄膜,并讨论了偏压对薄膜的微观结构和耐蚀性能的影响原因.
【机 构】
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中国工程物理研究院(四川省绵阳市)
【出 处】
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2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2004年期
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