【摘 要】
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金属多层膜/柔性基体体系在柔性电子器件中具有广阔的应用前景,但是其在加工制备和服役过程中往往经受外加载荷的作用,导致薄膜开裂、脱层及屈曲从而影响体系的使用性能和可靠性,因此研究柔性基板上纳米金属多层膜的屈曲变形与界面结合及其影响因素具有重要意义。本文采用不同调制周期(5-250 nm)的Cu/X(X=Nb,Zr)纳米金属多层膜为研究对象,通过单轴拉伸试验系统研究了纳米金属多层膜的屈曲行为的组元相依
【机 构】
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西安交通大学 金属材料强度国家重点实验室,陕西 西安 710049
【出 处】
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第十四届全国青年材料科学技术研讨会
论文部分内容阅读
金属多层膜/柔性基体体系在柔性电子器件中具有广阔的应用前景,但是其在加工制备和服役过程中往往经受外加载荷的作用,导致薄膜开裂、脱层及屈曲从而影响体系的使用性能和可靠性,因此研究柔性基板上纳米金属多层膜的屈曲变形与界面结合及其影响因素具有重要意义。本文采用不同调制周期(5-250 nm)的Cu/X(X=Nb,Zr)纳米金属多层膜为研究对象,通过单轴拉伸试验系统研究了纳米金属多层膜的屈曲行为的组元相依赖性以及膜基界面结合能的评价。研究结果表明：Cu/X多层膜的屈曲行为取决于多层膜内部特征尺寸(调制周期)及力学性能(强度、延性及断裂韧性)；当调制周期小于临界尺寸时,界面结合能不受调制周期的影响；当调制周期大于临界尺寸时,结合能表现出强烈地尺寸依赖性：随着调制周期的增加而增加。
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