论文部分内容阅读
该文考究了在常压流化床CVD反应器内，通过三异丁基铝的热分解反应在高折射率玻璃微珠表面淀积铝膜的过程中，淀积温度和时间对于铝膜微结构和表面形貌的影响。SEM谱的表面形貌分析表明，在其它条件相同的情况下提高淀积温度时，铝膜经过由三维岛状生长－孔洞结构－连续致密铝膜的变化；在一定的淀积温度下延长淀积时间，铝膜的晶粒会变粗变大，表明不平度增吉果说明在流化床CVD反应器中采用热活化方法，在适当提高的温度(350￣390℃)条件下淀积一定时间(大约30min)是可以在高折射率玻璃微珠表面得到基本符合反光材料要求的连续致密铝膜的。