【摘 要】
：
随着科学技术的发展，对精确测量极小漏率测量和校准的要求越来越高.极小漏率的真空标准漏孔主要为薄膜渗氦型漏孔，其作为极小漏率的参考标准进行真空漏率量值的传递，主要应用于氦质谱检漏仪对科学技术中小漏率的检测.常用真空标准漏孔校准方法一般分为定容、恒压法、比较法.定容法是将真空标准漏孔流出的气体引入到已知容积的定容室中，通过测量单位时间内压力的变化量及定容室容积值，计算出真空标准漏孔漏率的一种校准方法，
【机 构】
：
兰州空间技术物理研究所,兰州,730000
论文部分内容阅读
随着科学技术的发展，对精确测量极小漏率测量和校准的要求越来越高.极小漏率的真空标准漏孔主要为薄膜渗氦型漏孔，其作为极小漏率的参考标准进行真空漏率量值的传递，主要应用于氦质谱检漏仪对科学技术中小漏率的检测.常用真空标准漏孔校准方法一般分为定容、恒压法、比较法.定容法是将真空标准漏孔流出的气体引入到已知容积的定容室中，通过测量单位时间内压力的变化量及定容室容积值，计算出真空标准漏孔漏率的一种校准方法，校准范围一般为1×10-2～1×10-8Pa·m3/s.恒压法是将真空标准漏孔流出的气体引入到变容室中，连续改变变容室容积使变容室内气体压力保持不变，通过测量单位时间内变容室容积变化量及变容室压力值，计算出真空标准漏孔漏率的一种校准方法，校准范围一般为1×10-3～1×10-8Pa·m3/s.本文介绍了一种静态累积比较法真空标准漏孔校准方法，可用于极小漏率真空标准漏孔的校准.通过对静态累积比较法真空标准漏孔校准方法的研究得出，影响静态累积比较法真空标准漏孔校准结果测量不确度的因素主要包括静态累积比较法真空标准漏孔校准装置的测量不准确、真空标准漏孔漏率测量的重复性及温度波动等引入的不确定度，因此通过研制测量不确定度小的气体微流量计，保证标准流量与真空标准漏孔的离子流变化量相近或相同，严格控制校准过程中的环境温度等，可进一步减小静态累积比较法校准真空标准漏孔的校准结果测量不确定度，提高静态累积比较法校准真空标准漏孔的准确度，其校准下限可达10-14Pa·m3/s.
其他文献
中国散裂中子源(CSNS)由产生能量为80MeV 的H-离子直线加速器、直线到环(LRBT)和环到靶(RTBT)的束流输运线、以及积累和加速质子束到1.6GeV 的快循环同步环(RCS)组成.本文描述了CSNS 真空系统各个部分的结构特点、技术要求、设计方案和实验结果.在CSNS 真空系统中采用对氢气抽速大的涡轮分子泵排除负氢离子源的高负载氢气；由于RFQ 腔体流导非常受限,在RFQ 的每个面上都
在磁约束核聚变装置中,真空室是一个非常重要而关键部件,它为磁约束 核聚变等离子体提供洁净真空运行环境空间.KTX 装置是开展磁约束核聚变实验 研究的反场箍缩核聚变装置之一,它有别于托卡马克装置和仿星器核聚变装置. 目前核聚变装置上使用的真空室由多个虾米扇段通过焊接成环形真空室,此类型 真空室焊缝数量多,焊缝距离长,焊接变形控制难度大.根据装置要求,KTX 磁 约束核聚变装置真空室设计为轮胎型结构,
真空室作为磁约束聚变堆主机的核心部件之一，其主要功能是为建立、维持、加热、诊断等离子体提供超高真空环境，并支撑真空室内部部件和其引起的机械负荷，要求具有极高的可靠性.近半个世纪以来，为了更深入地开展聚变能研究，世界各国相继建立了一大批的核聚变实验装置，在建的托卡马克核聚变实验装置的规模也越来越庞大和复杂，对于大型磁约束聚变堆真空室设计、制造关键技术的研究，已经成为国际上对于聚变堆主机研究的热点之一
建立了真空蒸馏分离铝灰中氟化物、氯化物、微量金属的方法。铝灰中氟离子超标,属于危险废物。采用真空蒸馏技术分离其中的氟/氯化合物,实现一次加热分别分离并收集铝灰中的氟化物、氯化物、铝珠,以及部分AlN,产品中的无机氟化物浸出液浓度≤10mg/L,远远低于国家标准(≤50mg/L)。研究了温度、真空度和挥发时间对分离效果的影响。当处理量为100kg/h,最佳分离条件为真空度30-600Pa,蒸馏温度8
总结了近年来作者在有色金属真空冶金方面研究工作的进展，开展了有色金属真空冶金的理论分析，对锡、铅、锌、铋、镉、镁等有色金属真空冶金进行研究，为有色金属真空冶金以及二次有色金属资源的综合利用开拓新途径。
干式真空泵为IC 装备、薄膜电子、制药化工、科研仪器等行业提供洁净的真空环境，其内部稀薄气体传输过程极其复杂。研究具有高可靠性的干泵设计理论，是解决困扰国内真空泵制造业的巨大难题。本文从干泵转子型线设计、稀薄气体输送、多物理场耦合、运转态分析等多个方面，探讨了面向干泵类产品的多维度、运转态集成设计的新方法，开发了参数化转子设计软件，建立多场耦合的分析方法，搭建了干泵理论分析设计平台。本文的研究内容
在非空气应用领域中，使用干式真空泵的最大挑战来自进泵介质，这些介质大部分为非空气未凝汽体，在真空泵内可能发生冷凝与结晶、腐蚀与流蚀、燃烧与爆炸、交联与聚合、碳化与焦化等等理化反应，致使真空泵损坏而不能工作。解决这些难题的关键常常不在真空泵的本身，而在流程设计。解决思路是从化学机理切入，找到形成以上理化反应的条件；用化工原理的方法设计流程，避免或是破坏掉这些理化变化的一个或几个条件，致使反应不可能发
空间环境模拟器是用于模拟空间真空、冷黑和空间外热流环境的试验装置。如何对空间环境模拟器真空系统进行配置，实现大空间真空环境的快速获得和保持，是决定空间环境模拟器性能的重要因素。分别对国内外大型空间环境模拟器的真空系统配置进行介绍，并对各自的真空系统配置策略与技术特点进行分析，通过对国内外大型空间环境模拟器真空系统的研究，其真空系统配置策略一般包括：清洁无油真空系统、分子泵系统作过渡抽气、对于因建造
分子泵自上世纪初发明以来已经经历了近百年的发展历程。从最初的拖动型分子泵,到后来的涡轮分子泵以及涡轮级加拖动级的复合型分子泵,其抽气原理及抽气结构在上世纪70 年代末基本趋于稳定。上世纪80 年代以后,随着轴承工业进步,陶瓷轴承开始应用于分子泵,使得同口径分子泵较以前转速更高,抽速、压缩比等性能得到显著提高,运转寿命进一步提高。特别是自上世纪80 年代,磁悬浮技术应用于分子泵,实现分子泵高速、无摩
真空器件在微电子、半导体、航空航天、核工业、船舶、医疗卫生等行业得到广泛应用,器件封装时的漏率检测是质量控制的关键因素.当前,一些领域对器件提出了长寿命高可靠(寿命在15年以上)的要求,需要器件封装时的漏率小于 10-14 Pam3/s.将漏率小于10-12 Pam3/s 的检漏称之为超灵敏度检漏. 基于动态模式的传统检漏仪下限一般 为10-11～10-12 Pam3/s.国际上只有美国、中国等少