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我们研制了一种新型的波形可控新型高功率脉冲磁控(MPP)电源,该电源可以实现阶梯波形高功率脉冲输出,有效控制了放电过程,减少了打火;与传统高功率脉冲磁控(HPPMS)相比,沉积速率更高。电源平均输出功率10kW,脉冲宽度可达1ms-3ms,阶梯形状任意可变。利用CrAl靶对其放电进行了研究,结果表明,MPP电源的功率密度一般不高于HPPMS,放电控制更加灵活。