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以NH4F/乙二醇为电解液对Ti箔进行阳极氧化,通过对溶液中水的含量、氧化电压、时间等参数的控制,制备了高度有序TiO2纳米管。利用XRD研究了TiO2纳米管阵列的退火前后的物相结构,利用SEM分析了TiO2纳米管阵列的形貌结构,结合氧化过程电流密度变化探讨了TiO2纳米管的生长机理。TiO2纳米管阵列的形成须经历致密氧化层的形成、多孔层的形成以及纳米管的形成与稳定生长三个阶段的演化,它是场致氧化、场致溶解和化学溶解三个反应共同作用并逐步达到动态平衡的结果。