【摘 要】
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利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N(Me=Al,Cr,Cu).采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能.研究表明:Zr-Cr-N和Zr-Cu-N薄膜为单一相fcc Bl(NaCl)结构;薄膜具有良好的结合力和较高的水接触角;ZrN中掺入过量的Al导致薄膜的力学性能降低.
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,辽宁大连116024;北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京100024
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利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N(Me=Al,Cr,Cu).采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能.研究表明:Zr-Cr-N和Zr-Cu-N薄膜为单一相fcc Bl(NaCl)结构;薄膜具有良好的结合力和较高的水接触角;ZrN中掺入过量的Al导致薄膜的力学性能降低.ZvCu-N薄膜显微硬度最高,达到35.5GPa,而且纳米复合Zr-Cu-N薄膜能有效地降低摩擦系数.
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