【摘 要】
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采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜.采用高温摩擦磨损仪测试其摩擦磨损性能性能,通过能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜、超景深光学显微镜和
【机 构】
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江苏科技大学材料科学与工程学院,江苏省先进焊接技术重点实验室,江苏 镇江 212003
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采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜.采用高温摩擦磨损仪测试其摩擦磨损性能性能,通过能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜、超景深光学显微镜和三维轮廓仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜抗氧化性能和摩擦磨损性能的影响.结果表明:随着Si含量的增加,Ti-Al-Si-N复合膜的抗氧化性能逐渐增强,摩擦系数先增大后减小,磨损率逐渐减小,Si含量大于16.69at%时,高温抗氧化温度超过了1000℃,Si含量由0增加到25.23at%时,磨损率由4.5×10-6mm3/N.mm1减小到1.3×10-6mm3/N.mm.
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