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高Al组分AlGaN材料和深紫外LED的MOCVD外延生长
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,北京市海淀区清华东路甲35号100083
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年4期
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