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针对薄膜材料在纳米压痕试验时出现的压痕尺寸效应，运用准连续介质法模拟单晶铝膜纳米压痕试验初始塑性变形过程，分析了不同直径的刚性圆柱形压头分别压入同一深度时弹性和塑性变形特点，并获得了相应的载荷-压深曲线。基于Oliver-Pharr法，预测了纳米硬度值和弹性模量。研究数据表明：纳米硬度值随着压头直径的增加而减小，呈现出明显的压头尺寸效应;当压头直径达到或超过80(A)时纳米硬度值趋于稳定值，即压头尺寸效应消失。同时表明弹性模量不存在尺寸效应。表明材料的弹性模量本质上仅依赖原子间的结合能，而和压头尺寸基本无关。