FIB+SEM双束系统在地学领域的应用现状及发展趋势

来源 :第十一届“月球·行星·科学与探测”学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinr0op4
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地外样品具有珍贵量少的特点,往往要求在尽可能少的样品消耗的前提下,获取尽可能多的研究结果。双束系统功能完备,不仅能够对同一样品完成SEM,EDS力NDS.EBSD3等分析,一次性获得样品的形貌、成分与结构信息,还能够利用离子束进行精细加工,进行截面样品,透射电镜样品制备以及三维重构分析,可以满足地外样品分析样品消耗量少并获取尽可能多研究结果的要求。
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