【摘 要】
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Outline失效分析的作用与一般流程EMMI基本介绍OBIRCH基本介绍应用举例EMMI/OBIRCH的选用原则失效分析的作用EMMI的基本原理EMission MIcroscope F-PE: Field Photon Emissio
【机 构】
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复旦大学材料科学系;国家微电子材料与元器件分析中心;复旦-滨松EM联合实验室
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Outline失效分析的作用与一般流程EMMI基本介绍OBIRCH基本介绍应用举例EMMI/OBIRCH的选用原则失效分析的作用EMMI的基本原理EMission MIcroscope F-PE: Field Photon Emission场致发光R-PE: Recombination Photon Emission复合发光PN结正偏发光正偏情况下整个结面的发光,发光面积较大,发光强度均匀.
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