【摘 要】
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类金刚石碳(DLC)膜作为一类新型的碳纳米材料,由于具有高硬度、低摩擦系数和良好的耐磨性等优良的表面特性和在众多领域中的广阔应用前景而成为研究的热点之一.通常sp3键
【机 构】
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辽宁石油化工大学 化学与材料科学学院,抚顺113001
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类金刚石碳(DLC)膜作为一类新型的碳纳米材料,由于具有高硬度、低摩擦系数和良好的耐磨性等优良的表面特性和在众多领域中的广阔应用前景而成为研究的热点之一.通常sp3键含量越高,DLC膜就越坚硬、致密,在宏观性质上越类似于金刚石,故而得名[1].含氢DLC膜称为a-C：H膜,其中氢含量在20-50％之间；无氢DLC膜包括无氢非晶碳(a-C)膜和四面体非晶碳(ta-C)膜.a-C膜含有少量的sp3键,ta-C膜中以sp3键为主.DLC膜的制备方法主要包括电弧沉积法、电沉积法、化学气相沉积法、激光蒸发法及磁溅射法等.DLC膜在保护膜、机械、场发射器等领域有重要的研究价值.在制备方面,DLC膜内存在着较大的应力,降低了膜和基底的相互结合力度,导致DLC膜在基底表面成膜困难；通过掺杂Si、Ti、W等元素改变DLC膜的结构或改善其某种性质,实现对DLC膜细微结构的控制以及sp3和sp2键的比例,提高其热稳定性.
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