论文部分内容阅读
本文介绍了一种用于制作微电子、微机械和微光学器件的高分辨力、大视场、大焦深和高功率的Ⅰ线接近式曝光系统,重点讨论用多点光源平滑衍射效应和实现大视场高均匀性照明的工作原理、线条陡度增强技术;曝光间隙的精确设定和高微动分辨力对准台的基本结构.
大功率、深层i线光刻技术研究
【摘 要】
：
本文介绍了一种用于制作微电子、微机械和微光学器件的高分辨力、大视场、大焦深和高功率的Ⅰ线接近式曝光系统,重点讨论用多点光源平滑衍射效应和实现大视场高均匀性照明的
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所(成都)
【出 处】
：
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
：
2000年期
其他文献
Noun-Inspiring Theme in Poetic Translation-On Noun Translation Governed by Theme of Classical Chines
期刊
美国当代作家安妮·普鲁因其自然写作和西部写作而闻名,其作品常被冠以生态文学和自然主义之名。该文以安妮·普鲁颇具魔幻现实主义风格的短篇小说《半剥皮的阉牛》为解读对
该研究利用Ｔｉ与Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉原位反应的方法制备ＴｉＮ－Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉复相陶瓷材料，并测试了不同Ｔｉ添加量对材料力学性能的影响。经ＳＲＤ分析，在该实验条件下Ｔｉ与Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉反应生成ＴｉＮ，ＴｉＳｉ。利用ＳＥＭ对试件进行显微结构
用非均匀相沉淀方法获得YAG分布均匀的AlO-YAG复合粉体，通过热压烧结得么的致密烧结体YAG的加入对烧结温度的影响不大，AlO-5vol℅YAG复相陶瓷的抗弯强度为485MPa，断裂韧性为4.2M