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本文采用等效电路模型对硅微电容传声器建模，在该模型的基础上进行理论分析和数值计算，讨论了背极板应力对硅微电容传声器性能的影响。结果表明，背极板刚度与振膜刚度可比拟时，会使传声器灵敏度有所降低;背极板刚度对高频灵敏度的影响大于低频;降低空气隙的粘滞阻尼有助于减小背极板刚度造成的影响。
背极板刚度对硅微电容传声器性能的影响
【摘 要】
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本文采用等效电路模型对硅微电容传声器建模，在该模型的基础上进行理论分析和数值计算，讨论了背极板应力对硅微电容传声器性能的影响。结果表明，背极板刚度与振膜刚度可比拟时，会
【机 构】
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声学微机电实验室
【出 处】
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中国科学院声学研究所第三届青年学术交流会
【发表日期】
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2009年7期
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