【摘 要】
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通道型正压标准漏孔校准装置由气源压力自动控制部分,被测标准漏孔,皂膜流量计标准组三部分组成,气源压力自动控制部分能够根据标准漏孔的气源压力和漏率提供稳定的气源.采用
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院 上海市浦东新区张衡路1500号 201203
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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通道型正压标准漏孔校准装置由气源压力自动控制部分,被测标准漏孔,皂膜流量计标准组三部分组成,气源压力自动控制部分能够根据标准漏孔的气源压力和漏率提供稳定的气源.采用校准装置对一系列不同气源压力,不同标称漏率的标准漏孔进行了测试,同时研究了气源压力波动对标准漏孔漏率的影响.校准装置可以对气源压力在(1-1600)kPa,漏率在(0～20)L/min范围内通道型正压标准漏孔进行校准,相对扩展不确定度为2.0％(k=2).
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