【摘 要】
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针对硅微谐振式加速度计的高灵敏度输出设计,对作为传感器敏感元件的双端固支音叉敏感机理进行了理论分析,求取了轴向力作用下的固有频率,且考虑硅微机构的制作工艺,设计了加
【机 构】
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北京航空航天大学“新型惯性仪表与导航系统技术”国防重点学科实验室,北京100191
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
针对硅微谐振式加速度计的高灵敏度输出设计,对作为传感器敏感元件的双端固支音叉敏感机理进行了理论分析,求取了轴向力作用下的固有频率,且考虑硅微机构的制作工艺,设计了加速度计谐振音叉模型,并利用有限元分析方法,对设计的理想谐振器与考虑制作的实际谐振器进行了建模仿真。结果表明,两者的工作模态频率存在明显偏差,约为5.553kHz。在此基础上，进行了加速度计模型设计与模态仿真及其随机振动分析,实现了约为147.7Hz/g的标度因数。
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