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该文主要介绍了磁流体密封技术在单晶炉上的具体应用，简要介绍了所用磁流体密封的结构及参数。
磁流体密封技术的应用研究
【摘 要】
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该文主要介绍了磁流体密封技术在单晶炉上的具体应用，简要介绍了所用磁流体密封的结构及参数。
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备研究所
【出 处】
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中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2001年期
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