【摘 要】
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金刚石具备高热导率、高电阻率、高击穿电场、大的禁带宽度、介电系数小、载流子迁移率高以及抗辐射能力强等特性,可作为已应用于惯性约束聚变(ICF)实验X光测量的硅与X光二极
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川 绵阳 621900
【出 处】
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四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十四届学术年会
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金刚石具备高热导率、高电阻率、高击穿电场、大的禁带宽度、介电系数小、载流子迁移率高以及抗辐射能力强等特性,可作为已应用于惯性约束聚变(ICF)实验X光测量的硅与X光二极管(XRD)的较好替代品。随着化学气相沉积(CVD)技术的发展,CVD金刚石受到越来越多的关注。本文利用拉曼谱仪和X光衍射仪对1mm×1 mm×2mm,1mm×1mm×3 mm两种规格CVD金刚石完成品质检测后,完成了CVD金刚石X光探测器(DXD)的集成制作,并在8ps激光器和SGⅢ原型装置上开展了探测器时间特性等性能研究。实验结果给出探测器系统前沿响应时间可达60ps,半高全宽可达120ps,与XRD探测系统时间特性一致,可以满足ICF实验对X光辐射测量的应用。
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