与硅工艺完全兼容的氧化铪基铁电薄膜的电畴演变规律

来源 :第十四届全国物理力学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qqiuhe123
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  集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑我国经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。存储器在集成电路产品构成中占据着至关重要的地位,发展自主可控的存储器产业是我国发展集成电路产业最重要也最可行的产业方向。新型存储技术是全球存储技术发展的最终方向,铁电存储器作为当前应用范围最广的新型存储器之一,具有抗辐照、非挥发、高读写速度、抗疲劳性能突出、低功耗几大核心优势,在军用和民用领域都得到了应用,表现出巨大的市场潜力。
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