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本文通过建立微波S参数片上测量系统，实现对一种共面波导型表面贴滤波器S参数的测量。文章首先对微波S参数片上测量系统的结构进行了研究，并对其误差模型进行了分析。利用矢量网络分析仪、探针台、标准阻抗基片建立了微波S参数片上测量系统，实现对一种3×3mm封装的共面波导型表面贴滤波器在DC-3GHz频段内的S参数测量。该测量系统的建立以及测量方法的实现对表面贴器件的设计和性能分析具有很好的指导意义。