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本文采用SEM分析了一种亚微米氧化物阴极发射表面激活前后的微观形貌,采用XPS分析技术分析了该阴极激活后表面元素及化合态。SEM分析结果表明:亚微米氧化物阴极分解激活后比普通氧化物阴极获得较大的发射比表面积;XPS分析结果表明:亚微米氧化物阴极表面阴极激活后存在Ba的富集。说明富集的Ba集中在较大比表面积的阴极表面,从而提高了阴极发射性能。