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本文在磁控溅射器中用钛板作阴极,采用反应磁控溅射方法在玻璃基板上制备了二氧化钛薄膜,并研究了其光催化特性。
反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜的光催化特性研究
【摘 要】
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本文在磁控溅射器中用钛板作阴极,采用反应磁控溅射方法在玻璃基板上制备了二氧化钛薄膜,并研究了其光催化特性。
【机 构】
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复旦大学材料科学系,200433
【出 处】
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华东三省一市第三届真空学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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