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「纳米技术计量标准研究」之目的为建立具良好追溯性的纳米标准与计量技术,发展以原子或分子为基础的计量标准,以为长期产业及经济发展奠基。本文介绍之纳米尺寸参数量测追溯着重於(1)纳米粒径标准,为结合电迁移率分析法(DMA)量测技术与电重力平衡法(EAB)量测技术之静电力分离法;(2)研究将以光散射的原理,作为晶圆表面纳米微粒量测技术,2007年已建立光学量测系统主架构;(3)薄膜膜厚量测,其量测范围为1~5 nm~200 nm之膜厚;(4)采用超细微探针之AFM,发展量测50 nm以下之线宽/线距量测技术。