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本文介绍了流导法真空装置的研制和使用。本装置具有工作效率高和可靠性高的特点, 同时还具有了标准漏孔的校准功能。本文给出了该装置测量范围(1×10-6～1×10-1)Pa,不确定度 U=（2%～5%）,k=2。校准标准漏孔的漏率范围(1×10-9～1×10-6)Pa.m3/s,不确定度 U 小于10%,k=2。