论文部分内容阅读
材料选用是微机电系统(MEMS)有效设计中必不可少的环节，随着集成电路(IC)及新型微细加工技术的研制和发展，MEMS材料的选用得到拓广，并不局限于硅基材料。本文针对MEMS旋转机械中微转子结构的应用特点，运用性能指标分析其主要功能和可靠性，根据设计要求选用合适的材料，分析并讨论两种性能指标对微转子结构材料选用的影响，并探讨考虑摩擦、磨损影响时微转子结构的材料选用。