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高分辨透射电子显微镜已经成为测试精度最高的纳米尺度测量工具，目前常用的中等电压透射电子显微镜的分辨率可以达到0.1nm，为纳米尺度实验力学测试技术的发展提供了设备条件几何相位分析是一种基于透射电子显微镜的高精度纳米尺度实验力学分析方法，其测量灵敏度都能达到原子水平本文介绍使用透射电子显微镜作为测试工具，采用几何相位分析作为电子显微图像分析方法的纳米尺度变形场测试及应用成果。