【摘 要】
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该文采用自治微波功率吸收的两维混合模型,数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量,重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数(等离子体密度、等离子体位势)、以及基板表面
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该文采用自治微波功率吸收的两维混合模型,数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量,重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数(等离子体密度、等离子体位势)、以及基板表面的离子电流密度、离子能量、方向角分布的影响,并讨论了ECR等离子体中的某些非线性现象。我们的数值结果与许多实验测量定性相符。
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