【摘 要】
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硅微型压力传感器在国外已实现了产业化,国内也有多年的研究基础,是目前我国比较适合产业化的MEMS器件之一.在汽车压力传感器方面,歧管压力传感器、轮胎压力传感器等有着巨大
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海市,200050
【出 处】
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第二届长三角地区传感技术学术交流会
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硅微型压力传感器在国外已实现了产业化,国内也有多年的研究基础,是目前我国比较适合产业化的MEMS器件之一.在汽车压力传感器方面,歧管压力传感器、轮胎压力传感器等有着巨大的应用市场.针对歧管压力传感器、轮胎压力传感器等应用市场,进行了全硅型绝对压力传感器的研发,对小批量生产的全硅型绝对压力传感器性能进行了测试.结果表明,小批量生产的全硅型绝对压力传感器性能已接近国外同类产品的性能.
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