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Plasma Immersion Ion Implantation of Non-Gaseous Elements
【机 构】
：
KoreaInstituteofScienceandTechnology,Seoul,RepublicofKoreaKoreaUniversity,Seoul,RepublicofKorea
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年9期
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