【摘 要】
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针对纳米器件中的典型几何特征,制备了三种典型纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征.提出转换薄膜厚
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西 西安,710049
【出 处】
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陕西省机械工程学会第十次代表大会暨学术年会
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针对纳米器件中的典型几何特征,制备了三种典型纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征.提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法,制备出了具有名义线宽尺寸为20nm,25nm,35nm的纳米栅线结构.用离线的图像分析算法对所制备的纳米线宽样板的线边缘粗糙度/线宽粗糙度(LER/LWR)以及栅线线宽的一致性进行了评估.实验表明所制备纳米线宽样板的栅线具有较好的一致性,LER/LWR值小,且具有垂直的侧壁.采用电子束直写技术(EBL)和感应耦合等离子体刻蚀(ICP)制备了名义高度为220nm的硅台阶样板.实验表明刻蚀后栅线边缘LER/LWR的高频成分减少,相关长度变长,均方根偏差值(σ)增大.采用聚焦离子束(FIB)制备了纳米单台阶和多台阶结构,对Z方向的尺度与加工能量之间的关系进行了分析.
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