TiO2薄膜制备方法研究进展

来源 :第四届十三省区市机械工程学会科技论坛暨2008海南机械科技论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:showfeeling
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简述了TiO2纳米材料的发展现状,并从溶胶-凝胶法、物理气相沉积法、化学气相沉积法等方面对TiO2薄膜制备方法进行了综述。
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