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随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著.本文介绍了天线效应的原理,以及修复方法.
天线效应的产生及修复
【摘 要】
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随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著.本文介绍了天线效应的原理,以及修复方法.
【机 构】
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安徽大学电子系(安徽合肥)
【出 处】
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全国第13届计算机辅助设计与图形学学术会议暨全国第16届计算机科学与技术应用学术会议
【发表日期】
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2004年6期
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