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会议论文
氧化硅介质膜对蓝光芯片性能的影响
氧化硅介质膜对蓝光芯片性能的影响
来源 :第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009) | 被引量 : 0次 | 上传用户:wolfzhu
【摘 要】
:
本文主要研究了在蓝光LED芯片表面沉积一层氧化硅介质膜对蓝光LEO光电参数的影响.试验结果表明,沉积有氧化硅介质膜的芯片,其漏电比例明显低;同时沉积氧化硅介质膜对芯片亮度
【作 者】
:
沈燕
孙健
郑鹏
吴丽丽
刘存志
【机 构】
:
山东华光光电子有限公司 济南高新区天辰大街1835号 250101
【出 处】
:
第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009)
【发表日期】
:
2009年期
【关键词】
:
氧化硅
介质膜
蓝光
芯片性能
试验结果
光电性能
光电参数
表面沉积
漏电
亮度
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本文主要研究了在蓝光LED芯片表面沉积一层氧化硅介质膜对蓝光LEO光电参数的影响.试验结果表明,沉积有氧化硅介质膜的芯片,其漏电比例明显低;同时沉积氧化硅介质膜对芯片亮度也有一定程度的提高,而不影响芯片的其他光电性能。
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