基于MEMS技术带透明电极可变形反射镜的研制

来源 :2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:koala_zz
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变形镜是自适应光学系统的关键部件。本文提出了基于MEMS技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。反射镜由静电驱动,包含超薄硅膜镜面、驱动电极阵列及透明电极三部分.文章给出了透明电极、超薄镜面、驱动电极的制作工艺以及他们的工作特性,静态测试结果表明透明电极的引入能更好地控制镜面的形变。镜面中心最大变形量可达19μm,最大有效反射面积可达16mm2,且变形镜驱动电压低,因此能很好地改善整个自适应光学系统的性能。
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