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低能离子束辅助沉积作用下氮化硅/氮化钛复相陶瓷多层膜的结构和特性
低能离子束辅助沉积作用下氮化硅/氮化钛复相陶瓷多层膜的结构和特性
来源 :'96中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:csmeteor135
【摘 要】
:
该文利用离子束辅助沉积装置进行了氮化硅/氮化钛多层膜的微组装,研究表明,多层膜由晶态的氮化钛和非晶态的氮化硅组成,氮化硅层的氮硅原子比和结合能有所降低。多层膜的硬度变化
【作 者】
:
王立铎
何建立
【机 构】
:
大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
:
'96中国材料研讨会
【发表日期】
:
1996年期
【关键词】
:
低能离子束辅助
沉积作用
氮化硅层
氮化钛
复相陶瓷
多层膜
硬度变化
非晶态
沉积装置
原子比
微组装
结合能
组成
韧性
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该文利用离子束辅助沉积装置进行了氮化硅/氮化钛多层膜的微组装,研究表明,多层膜由晶态的氮化钛和非晶态的氮化硅组成,氮化硅层的氮硅原子比和结合能有所降低。多层膜的硬度变化不大,而韧性得到明显提高。
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