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未来的电子设备和系统发展的趋势是进一步缩小尺寸、降低成本和功耗.微机电系统(Microelectromechanical system)是一项与集成电路制造工艺相同的新兴技术,已在微波系统中得到广泛应用.本文综述了当前国际上MEMS技术的最新发展动态,以射频与微波应用的各种MEMS器件关键技术为例进行了介绍,最后展望了未来的发展前景.