阻变存储器三维集成阵列中的热效应研究

来源 :2015中国国际功能材料科技与产业高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wolfseason
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阻变存储器(RRAM)是以材料的电阻可在高低阻态间实现可逆转换为基础.阻变器件在电压作用下工作时,由于焦耳热的作用将导致器件白身温度发生变化,因此,由焦耳热引起的热效应在半导体器件中是一种普遍现象.
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