【摘 要】
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对重掺硼硅片快速热处理,发现快速热处理有效地促进了氧沉淀的生成,并获得一定的清洁区。随着快速热处理温度的升高,氧沉淀的密度在减小,清洁区逐渐出现。较低的温度下,对重
【基金项目】
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国家自然科学基金(60076001)河北省自然科学基金(E2005000057)河北省教育厅科技项目(2004311)
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对重掺硼硅片快速热处理,发现快速热处理有效地促进了氧沉淀的生成,并获得一定的清洁区。随着快速热处理温度的升高,氧沉淀的密度在减小,清洁区逐渐出现。较低的温度下,对重掺硼进行快速热处理,主要是硼促进氧沉淀的形成,快速升温激发的点缺陷氧沉淀的促进作用处于次要地位,主要是硼原子在起作用。随着快速热处理温度的升高,逐渐出现了清洁区,说明点缺陷在氧沉淀的形成过程中逐渐处于主要地位。
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