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本文采用CoventorWare软件设计了一种与半导体工艺兼容的基于MEMS工艺的磁芯微电感.在输入电压1V时，分别在直流输入及1KHz低频交流输入下，用有限元方法模拟了三维磁场分布.计算结果表明，本文设计的磁芯微电感具有较好的低频特性，其电阻值为0.76 Ω电感值为7.31 nH.
基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究
【摘 要】
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本文采用CoventorWare软件设计了一种与半导体工艺兼容的基于MEMS工艺的磁芯微电感.在输入电压1V时，分别在直流输入及1KHz低频交流输入下，用有限元方法模拟了三维磁场分布.
【机 构】
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苏州科技学院数理学院,江苏苏州215009
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2012年期
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