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采用加速寿命试验方法撮了晶片级MOS管的HU氏模型的工艺参数，确定了对应器件寿命值的最大线性跨导的变化率；采用实验的方法确定了在不同的退化机理作用下，引起N沟道热载流子退化的统一模型的工艺参数，并和加速寿命试验进行了比较。随后的研究表明，这些参数是随工艺而变化的。
MOS器件寿命的快速评价方法
【摘 要】
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采用加速寿命试验方法撮了晶片级MOS管的HU氏模型的工艺参数，确定了对应器件寿命值的最大线性跨导的变化率；采用实验的方法确定了在不同的退化机理作用下，引起N沟道热载流子退化
【机 构】
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信息产业部电子五所(广州)
【出 处】
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第八届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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