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硅含量对无定形碳化硅薄膜的结构和摩擦学性能影响的实验研究
【机 构】
:
北京交通大学机械与电子控制工程学院 北京 100044 中国
【出 处】
:
第九届全国摩擦学大会
【发表日期】
:
2009年期
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