【摘 要】
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<正>以甲烷,四氯化硅和氢气作为前驱体,堇青石作为沉积基体,采用竖式化学气相沉积炉研究了常压下不同流量,不同温度对化学气相沉积碳化硅过程速率的影响;分别用偏光显微镜、
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<正>以甲烷,四氯化硅和氢气作为前驱体,堇青石作为沉积基体,采用竖式化学气相沉积炉研究了常压下不同流量,不同温度对化学气相沉积碳化硅过程速率的影响;分别用偏光显微镜、扫描电子显微镜、投射电子显微镜以及拉曼光谱考察了沉积的碳化硅的组织结构和微观结构。研究表明:在化学气相沉积碳化硅的过程中,并不是碳和硅独立沉积的,而是甲烷和四氯化硅生成大分子的碳(氯)硅烷,然后再生成碳化硅。速率明显提高,是因为生成的硅的聚合物活性高。此结论为寻找快速新型致密化途径提供了理论和实验支持。
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