【摘 要】
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本文采用射频反应磁控溅射技术制备氧化铬涂层并进行热处理,通过X射线衍射、纳米压痕、摩擦磨损测试仪等研究温度及保温时间对涂层结构、硬度、弹性模量、耐磨性及涂层与基体
【机 构】
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北京科技大学材料物理与化学系,北京 100083
【出 处】
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2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛
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本文采用射频反应磁控溅射技术制备氧化铬涂层并进行热处理,通过X射线衍射、纳米压痕、摩擦磨损测试仪等研究温度及保温时间对涂层结构、硬度、弹性模量、耐磨性及涂层与基体间的结合力进行了研究。结果表明，低于其晶化温度(400℃)进行热处理对其结构影响不大,而在高于其晶化温度(500℃)进行热处理,其结构变化比较明显,同时其力学性能显著提高,其硬度从初始态的12.3 GPa提高到26 GPa,相同实验条件下的磨损量也显著降低,从初始态的1.1×10-3mm3降低到1×10-5mm3,涂层与基体之间的结合力随着热处理温度的提高、保温时间的延长有明显的改善。
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