论文部分内容阅读
多年来,在莫党教授带领和指导下,本课题组在椭偏光谱仪器、光谱解谱分析及其在材料领域测试应用方面进行了长期研究工作.本文简要介绍了本课题组从椭偏光谱仪研制到椭偏光谱在金属、半导体、离子注入、聚合物、铁电氧化物等材料方面的研究,以及椭偏光学及解谱等方面的工作.
椭偏光谱及其在材料方面的应用
【摘 要】
：
多年来,在莫党教授带领和指导下,本课题组在椭偏光谱仪器、光谱解谱分析及其在材料领域测试应用方面进行了长期研究工作.本文简要介绍了本课题组从椭偏光谱仪研制到椭偏光谱
【机 构】
：
中山大学物理科学与工程技术学院,光电材料国家重点实验室,广州,510275
【出 处】
：
第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会
【发表日期】
：
2014年11期
其他文献
以椭偏仪为硬件平台的光学关键尺寸(OCD)测量技术,因其快速精确、非接触性、非破坏性、可同时对多个工艺特征在线检测等诸多优势,已经被广泛的应用在90nm 及以下技术节点的极
会议
VO2 薄膜是一种金属-绝缘体转变(MIT)材料,其在大约68℃时会表现出可逆的温度驱动结构的相变特性,同时其电、磁等物理性质也发生突变.VO2 的这种光学性质随温度可逆改变的现
会议
我国东部地区的两淮矿区因采煤活动导致地表塌陷，形成了大面积的沉陷积水区。迪沟采煤沉陷湿地是煤矿开采活动导致地面持续沉陷积水而形成的特殊水体，属于国家湿地公园。本文研
We review our spectroscopic ellipsometry studies for wide range and large amounts of thin film or layered structural semiconductors and oxides.They have been me
会议
椭偏测量技术由于其速度快、灵敏度高、对被测器件无损伤以及测量光斑小等特点而在IC 半导体检测中发挥了重要作用[1,2].根据测量光的波长范围,椭偏技术可以分为单波长椭偏仪
会议
光子筛是一种新型衍射光学元件,以大量环状随机分布的微纳小孔取代传统波带片的透光环带[1].和波带片相比,光子筛具有高分辨、重量轻、体积小及易复制的优点,对于成像系统轻
会议
我们研究了多层膜基底上驻波形光刻胶光栅的散射度量方法.该种光栅结构的微纳形貌无损测量在脉冲压缩光栅制作工艺中起关键作用,而目前针对该种结构的散射度量方法在文献中尚
会议
分子印迹微球作为一种功能性高分子材料，已经被广泛应用于药物的检测、分离以及控释等领域。本文以扑热息痛(PR)为模板分子，甲基丙烯酸(MAA)为功能单体，乙二醇二甲基丙烯酸酯(EG
纳米光刻技术中对对准精度有着非常高的要求,实际应用中大多只使用一维光栅进行对准.在二维正弦光栅的理论基础上提出了一种新型的纳米光刻对准方法,采用两组两个方向周期都
会议
中韩经贸关系是中韩两国当前主要关系之一,经贸关系的稳定对两国经济发展有推动作用。在简要分析中国与韩国建立外交关系至今两国双边贸易发展阶段及其特征的基础上,运用贸易