溶胶-凝胶法制备ZnO:Al导电薄膜的研究

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lt96046

【摘要】

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采用溶胶-凝胶工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向的ZnO:Al透明导电薄膜。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析手段对薄膜进行了表征。通过标准四探针法及紫外分光

【作者】

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孙福来;谭红琳;

【机构】

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昆明理工大学,材料与冶金学院,云南,昆明,650093

【出处】

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第六届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2007年期

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采用溶胶-凝胶工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向的ZnO:Al透明导电薄膜。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析手段对薄膜进行了表征。通过标准四探针法及紫外分光光度计(UVS)透射光谱研究了ZnO:Al薄膜的电学与光学性能。实验发现:当Al3+离子掺杂浓度为2％(原子分数),前处理温度为220℃、退火温度为580℃时,薄膜具有较好的导电性,电阻率为1.76×10-3Ω·cm,其在可见光的平均透射率在80％左右.

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