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低温薄膜微波滤波器研究
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室 北京 100084
【出 处】
：
第十一届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
【发表日期】
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2010年期
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