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提出了电子束退火制备MgB2超导薄膜新工艺。在对电子束退火制备MgB2超导薄膜可行性进行理论研究的基础上，使用EBW-6型电子束热处理设备，在真空度5.0×10-3Pa、加速电压40kV、束流2mA、束斑14.2mm、退火时间1.5s的条件下对[B(10m)／Mg(15nm)]4／Sic夹层结构前驱膜进行了退火实验，得到了零电阻温度为30.3K、转变宽度△Tc为0.4K、临界电流密度(5K、0T)为5.0×106A／cm2、表面平整的MgB2超导薄膜。证明了电子束退火制备MgB2薄膜是切实可行的。该工艺可以推广到大面积MgB2超导薄膜和MgB2线带材的制备。