集成电路电磁脉冲注入损伤规律研究

来源 :中国物理学会第十三届静电学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weiwei00414
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采取直接注入法,进行了方波脉冲和静电放电电磁脉冲对集成电路的注入损伤实验,并对实验结果进行了初步分析.实验表明静电放电与方波脉冲对器件的注入损伤具有相对的一致性.器件类型、敏感端对等对方波脉冲敏感的,同样对于静电电磁脉冲也比较敏感.集成电路工作状态下的电磁脉冲损伤电压阈值高于其分立状态下的损伤电压值.在静电注入电压和平均能量关系分析的基础上,得到了静电电磁脉冲注入时器件的损伤实验模型.
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